3月11日下午，工信部等多个部委召开工业气体“卡脖子”问题协调工作会议，系统梳理我国工业气体现状，协调推进解决制约行业发展的“卡脖子”问题。

作为一个工业细分行业，工业气体广泛应用于钢铁、石化等传统产业，以及电子半导体、医疗、食品等成长性行业。

电子气体最“卡”

“准确的讲，‘卡脖子’的是‘电子大宗气体’和‘电子特气’。”对于工业气体“卡脖子”问题，原林德集团中国区电子事业部业务总经理白久在接受上证报采访时介绍，国内非电子气体已经具有一定的国际竞争力，但由于技术和设备制造能力等因素，国内电子气体的竞争力还比较弱。

华特气体相关人员则告诉记者，工业气体“卡脖子”主要体现在大规模集成电路、新型显示面板等高端领域，在集成电路领域体现得尤为明显。

公开资料显示，在半导体用电子气体市场中，德国林德集团、美国空气化工、法国液化空气等公司控制着全球近八成的市场份额，控制了我国近九成的市场份额，我国电子气体行业受制于人的局面较为严重。

中国半导体产业为什么被电子气体“卡脖子”？

“就电子大宗气体来说，其对半导体产业卡在四个层面。”白久介绍说，一是外资巨头在中国只做头部客户，对中国新兴半导体项目支持度不足，卡了新项目的脖子；第二，中国本土公司在电子大宗气体项目的技术方案、项目执行、后续运营等环节都存在经验不足，给动辄投资数十亿上百亿的半导体项目带来很大风险；第三，从晶圆厂到存储器再到第三代化合物，半导体家族不断扩容，对气体品种需求越来越多，对气体质量要求越来越严苛，本土公司在经验不足的情况下又面临新挑战，难以给出有效的气体解决方案；第四，中国亟需富有经验的国际团队来开拓本土电子气体产业，服务本土晶圆厂。

就电子特气来说，白久认为形势更严峻。“五六十种最重要的电子特气中，我们实现国产化的比例不足1/3。”白久称，由于电子特气具有易燃、易爆、有毒、有害等特性，电子特气公司在自身技术水平储备不足的情况下，还要受到政策法规等限制要求，往往难以实现特气的量产化。

国产化市场空间大

电子气体的市场有多大？

“电子特气的全球市场规模则接近50亿美元。”白久表示，在半导体材料中，电子特气是价值量占比仅次于硅片的第二大原材料，在全球半导体材料市场的占比约为14%。

东莞证券的研报显示，2017年中国的特种气体市场规模已达到约178亿元，预期此后5年将以平均超过15%的年增长率高速增长，到2022年中国特种气体市场规模将达到411亿元。

白久告诉记者，正是因为看到了电子气体国产化的机会和市场空白，他招募外资电子气体从业人员组建团队创立宏芯气体，期望通过技术创新和科技研发，打破外资垄断，填补国内空白，服务本土半导体公司。

多家上市公司有突破

随着中国集成电路产业大发展，我国的特种气体产业也在逐步发展，华特气体、金宏气体、雅克科技等上市公司在一些特气品种上也取得了一定的进展。

华特气体告诉记者，通过十几年的研发，公司在高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、光刻气、高纯四氟化碳、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯八氟丙烷、高纯一氧化氮等近20个产品上实现了进口替代。目前，华特气体已经覆盖了国内80%的8英寸晶圆厂。

作为工业大宗气体龙头，金宏气体也瞄准了电子气体，公司上市募投项目之一便是张家港金宏气体有限公司超大规模集成电路用高纯气体项目，项目总投资2.1亿元。目前，公司的电子特种气体产品主要包括超纯氨、高纯氢、高纯氧化亚氮、硅烷混合气、八氟环丁烷等。公司在2020年12月公告，公司自主研发的高纯氧化亚氮、超纯氨产品近日成功通过中芯国际的稽核认证，等待测试。

雅克科技子公司成都科美特在六氟化硫与四氟化碳的生产工艺上具有核心技术。六氟化硫在国内外被广泛应用于电力设备中的输配电及控制设备行业，四氟化碳被广泛应用于国内外半导体制造、平板显示、太阳能薄膜等行业。